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深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时提供技术支持及售后服务,针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案,为科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为0.01 至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
适用:半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
可提供:安静的无振动运行,牢靠且防腐蚀,处理舱中不会出现油污染,防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。