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螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员,出现于20世纪90年代前后,发展较晚。但作为一种理想干泵,螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展。接下来,我们一起了解一下它的基本知识吧!
因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域,螺杆式真空泵备受青睐,逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。
螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动,来周期性改变齿间容积实现输送气体,达到抽气的目的。它具有以下特点:
1、清洁无油,多相混输,适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙,泵腔内无油,可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。
2、结构简单,动平衡好,可靠性高。螺杆式真空泵零部件少,核心部件无易损件,也无不平衡惯性力,运转可靠,寿命长。
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子,在泵腔中作同步、高速反向运转,周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
因为是脱胎于螺杆式压缩机,所以螺杆式真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机类似。我们以近似的多头型线、吸气过程
图中可见,阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
图中,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。a、压缩过程开始
螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。如图3a所示。这个过程一直持续到齿末端的型线完全啮合。此时,齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出,封闭的齿间容积的体积变为零。
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